光刻机自动化研究所所长夏季常教授以主持研发成功世界领先的《光刻机磁悬浮式双工作台系统》重大项目成果，遴选入围九五年工程院院士名额。

更多内容加载中...请稍候...

本站只支持手机浏览器访问，若您看到此段落，代表章节内容加载失败，请关闭浏览器的阅读模式、畅读模式、小说模式，以及关闭广告屏蔽功能，或复制网址到其他浏览器阅读！